龙泰环保设备分析电子制造行业VOCs有机废气治理方法

时间：2015-08-27 来源：龙泰环保设备关键词：VOCs有机废气治理, 浏览：

导读：电子制造行业VOCs有机废气治理方法，目前电子产品制造行业使用的有机废气治理技术主要包括活性碳吸附法沸石分子筛浓缩转轮燃烧法、蓄热式催化燃烧法。...

1.前言

电子元件是电子工业的基础，其产品-般包括电容器、电阻、电位器、电连接元件、控制元件，以及敏感元件和传感器等，电子元件产品具有种类多、生产工艺差别大，生产线更新变化快的特点，加工工艺-般涉及机械、化工、热加工或配制等多种工艺的组合。

在电子元件制造车间环境中，工人长时间工作时大量VOC的排放对人体的身体造成了巨大的威胁。

电子制造行业VOCs有机废气治理方法

2.行业VOCs排放特点

电子产品制造行业的VOCs排放浓度较高平均排放浓度在55mg/m3左右，收集或者处理程度比较低。目前存在的难题是：

(1)该行业的部分生产线变化性较大，而且更换周期不定。

(2)VOC排放浓度在各个工艺之间差异较大，这对VOC集中收集造成了不小的难度，对该行业VOC排放标准的制定也有很大影响。

3.行业VOCs治理技术

目前电子产品制造行业使用的有机废气治理技术主要包括活性碳吸附法沸石分子筛浓缩转轮燃烧法、蓄热式催化燃烧法。

(1)活性碳吸附法

在电子产品制造行业的电路板清洗过程中，大量的有机溶剂如异丙醇等在使用过程中挥发，通过超声波清洗剂上方局部排风系统收集，目前通常采用固定床活性炭吸附装置处理后排放。活性炭属非极性吸附剂，对非极性化合物的吸附能力较强，一般用来净化较低浓度的三氯乙烯、二氯甲烷、四氯乙烯、四氯化碳、甲苯、二甲苯、丙酮、丁酮、乙酸、乙酯等。一般的处理工艺流程图如下所示。

图1 活性炭吸附法工艺流程图

(2)沸石分子筛浓缩转轮焚烧法

沸石分子筛浓缩转轮焚烧法是目前被集成电路企业所广泛采用的有机气体处理方法。有机废气进入沸石转轮，通过沸石分子筛吸附了废气中大部分有机成分，形成较干净的空气，一部分较干净的气体排放至大气中，而另一部分气体则进入再生区，经再生区后的废气则含有高浓度的有机成分，这样可降低后续处理程序的操作成本。一般工艺流程如图4所示。利用沸石分子筛浓缩转轮将大风量低浓度的废气浓缩成小风量高浓度，再以直燃式(燃气式)焚化的方式，将有机成分转化为无害的CO2 和水，以达到去除有机物的目的。沸石分子筛转轮浓缩燃烧系统的特点是可以进行动态吸附和解析，不存在吸附剂的饱和问题，适当的调整转轮的转速，再生温度、风量等，获相当良好的效果，对于有机成分的去除率在90 %左右，浓缩倍数可达5~20。但是，保持这么高的温度所需燃料费用很大。

图2 浓缩转轮一般工艺流程图

(3)蓄热式催化燃烧法（RCO）

与蓄热式燃烧法（RTO）不同，RCO催化燃烧所需的反应温度更低（一般在500 oC下），且不会产生NOx等二次污染物。催化燃烧法的关键是催化剂，按催化剂活性组分可分为贵金属（Pt、Pd、Au等）和过渡金属金属氧化物(如Cr2O3、CuO、MnOx等)催化剂，覆盖于载体表面。催化燃烧一般反应为:

CxHy + O2 → CO2 + H2O + 热量，(碳氢化合物，有害)→(无害)

RCO系统是在一定温度下废气中VOC与催化剂作用发生催化氧化反应，去除效率可达99 %，采用蓄热材质（如陶瓷）的催化室可大幅减少热量的损耗。

催化燃烧系统流程十分简单，图3说明了各种设备中的主要组件，整套系统包括:预热器、催化剂床层、热交换器、送风机以及温度、风量控制单元。

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