半导体硅基材料后处理废气系统

导读： 1.1 设计基础条件（1）设备名称（位号）：半导体硅基材料后处理废气系统（2）年运行时间≥8000 小时（连续运行）；安装地点：室内/室外（3）气象条件 设备地处中...

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1.1        设计基础条件w05废气处理_废气处理设备_工业废气处理_江苏龙泰环保设备制造有限公司

（1）设备名称（位号）：半导体硅基材料后处理废气系统w05废气处理_废气处理设备_工业废气处理_江苏龙泰环保设备制造有限公司

（2）年运行时间≥8000 小时（连续运行）；安装地点：室内/室外w05废气处理_废气处理设备_工业废气处理_江苏龙泰环保设备制造有限公司

（3）气象条件w05废气处理_废气处理设备_工业废气处理_江苏龙泰环保设备制造有限公司

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设备地处中温带半干旱气候区，受冬季冷高压及夏季副热带高压影响，呈现出典型的大陆性气候特征：冬季寒冷而漫长；夏季炎热而短促，日温差大；春季干旱多风；秋季凉爽，光照充足。w05废气处理_废气处理设备_工业废气处理_江苏龙泰环保设备制造有限公司

废气污染物主要成分：一氧化氮（NO）、二氧化氮（NO2）、三氧化二氮（N2O3）、四氧化二氮（N2O4）、五氧化二氮（N2O5）、氟化氢、氯化氢、硝酸等。w05废气处理_废气处理设备_工业废气处理_江苏龙泰环保设备制造有限公司

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排放气体标准：按照国家最新《大气污染物综合排放标准》，结合当地生态环境局管控标准执行，其中氮氧化物的排放浓度不得高于5mg/Nm3，氟化物的排放浓度不得高于0.4mg/Nm3。w05废气处理_废气处理设备_工业废气处理_江苏龙泰环保设备制造有限公司

1.4 方案可行性及优势w05废气处理_废气处理设备_工业废气处理_江苏龙泰环保设备制造有限公司

1．本方案处理废气可行性w05废气处理_废气处理设备_工业废气处理_江苏龙泰环保设备制造有限公司

（1）环保无污染，同时工艺先进，净化吸收效率高。w05废气处理_废气处理设备_工业废气处理_江苏龙泰环保设备制造有限公司

（2）实现净化设施自动、连续、稳定运行；便于调整系统参数。也可用于手动操作，以便于设施的调试和检修。w05废气处理_废气处理设备_工业废气处理_江苏龙泰环保设备制造有限公司

2．本方案处理废气的优势w05废气处理_废气处理设备_工业废气处理_江苏龙泰环保设备制造有限公司

（1）适用性：该项目所采用的技术应与业主的需处理废气规模、需要去除的废气污染物，地区特点以及管理水平相适应。体现在：w05废气处理_废气处理设备_工业废气处理_江苏龙泰环保设备制造有限公司

1) 采用的技术应与需去除的污染物相适应；w05废气处理_废气处理设备_工业废气处理_江苏龙泰环保设备制造有限公司

2) 采用的技术应与需要的设备相适应，包括国内设备和国外设备，主要设备和辅助设备；w05废气处理_废气处理设备_工业废气处理_江苏龙泰环保设备制造有限公司

3) 采用的技术应与项目所在地区特点、员工素质和管理水平相适应；w05废气处理_废气处理设备_工业废气处理_江苏龙泰环保设备制造有限公司

4) 采用的技术应对污染物的排放废气处理的能力相适应。w05废气处理_废气处理设备_工业废气处理_江苏龙泰环保设备制造有限公司

（2）可靠性：该废气处理工艺成熟可靠，能保证处理效果、性能和处理能力，避免了资源浪费和安全危害。w05废气处理_废气处理设备_工业废气处理_江苏龙泰环保设备制造有限公司

（3）经济性：该项目充分考虑了一次性投资费用和将来可能发生的运行费用。w05废气处理_废气处理设备_工业废气处理_江苏龙泰环保设备制造有限公司

（4）自动化：全套废气处理装置为全自动化运行，整个工艺过程由PLC程序控制，风机、循环泵的启停，仪表与阀门的控制连锁等。触摸屏显示设备运行状态、操作时间，显示温度和压力等参数，具有监测及异常报警功能。w05废气处理_废气处理设备_工业废气处理_江苏龙泰环保设备制造有限公司

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（5）安全性：充分考虑了消防、防爆等安全因素，运行稳定，安全可靠。因此，综合以上因素，本方案净化系统无论是在技术合理性、先进性，还是经济可行性方面都相对有优势。建设费用及运行费用相对合理，采用的技术原理是合理、可行的。w05废气处理_废气处理设备_工业废气处理_江苏龙泰环保设备制造有限公司

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